(1)水汽引起设备化学腐蚀。在常温下SF6气体稳定性极好，当温度低于500℃时一般不会自行分解，但当SF6气体中含有水汽时，温度高于200℃就可能产生水解反应，生成HF和S02，SF6气体在电弧作用下发生自分解反应，与水汽发生反应产生腐蚀性HF、H2S03，使设备内部零件的表面腐蚀。
    (2)化学反应产物固体粉尘，会降低灭弧室击穿电压。在电弧作用下，SF6气体与电极材料金属铜和钨蒸气发生反应，生成金属氟化物和低氟化物，与水汽反应生成物W03和CuF2呈粉末状态沉积在灭弧室内。粉尘若沉积在电极表面将会降低灭弧室击穿电压。
    (3)水汽的存在会降低绝缘子表面闪络电压。SF6气体本身含有一定的水汽，设备密封处也会渗入水汽。除了使固体绝缘子的绝缘强度降低外，还会因温度降低时，可能在设备内部结露，附着在绝缘子和设备内零件表面，大大降低绝缘子表面的闪络电压。