SF6断路器灭弧室从灭弧原理上可以分为自动式和外能式。在具体结构上分为：
（1）双压式灭弧室。最早的SF6断路器采用了双压式灭弧室，类似压缩空气断路器的设计思路，只是以SF6气体取代了压缩空气，现已被淘汰。
（2）压气式灭弧室。压气式灭弧室即单压式，SF6气体只有一种压力，灭弧室需要的压力是分闸过程中由触杆带动气缸（又叫压气罩），将气缸内的SF气体压缩而建立的。当动触杆运动至喷口打开时，气缸内的高压力SF6气体经喷口吹电弧，使之熄灭。吹狐能量来源于操动机构。因此，压气式SF6断路器对所配操动机构的分闸功率要求较大。在合闸操作时，灭弧室内的SF6气体将通过回气单向阀速补充到气缸中，为下一次分闸做好准备。
（3）旋转式灭弧室。旋转式灭弧室在静触头附近设置有磁吹线圈。开端电流时，线圈自动被电弧接近回路，在动触头之间产生横向或纵向磁场，使被开断的电弧沿触头中心旋转，最终熄灭。这种灭弧室结构简单，触头烧损轻微，在中压系统中使用比较普通。
（4）气自动式灭弧室。依靠磁场使电话旋转或利用电弧阻塞原理，由电弧的能量加热SF6气体，使之压力增高形成气吹，从而使电弧熄灭。这种依靠电弧本身能量来熄灭的灭弧室成为气自动式灭弧式。很显然，这种灭弧室开断电流小、电弧能量小、气吹效果差、因而必须与气压式结构结合起来使用。

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